翌日上午，基地装配车间内人头攒动，气氛紧张而凝重。宽敞的厂房一侧，第一条EUV光刻机试验生产线己经组装完毕，一台全新的EUV光刻机静静矗立在调试区域。这是按照量产流程组装出的首台机器，编号002号。另一侧，观察平台上站着昨天来访的西陆技术观察团成员，此刻正神情各异地注视着场中准备就绪的设备。他们身旁，还陪同站着几位联邦项目的高层代表。
程烁走到控制台前，深吸一口气。今天的任务是在观察团面前进行002号机的首次试运行，以验证整机在量产组装后的性能。如果成功，将证明他们的工艺和设计兼容，为大规模量产铺平道路；若出现问题，必然会被对方捕捉，成为新的攻讦口实。因此，尽管经过一夜的充分准备，程烁心中仍不免紧张。他扫视身旁的战友——林茜站在光学监测仪旁，朝他坚定地点了点头；霍文昭则坐镇数据分析终端，神情专注；工程师沈崇岳负责监控工件台系统；安全主管顾延峰安静地立在场边，密切注意着周围的一举一动。所有人各就各位，只待一声令下。
“各系统准备完毕！”对讲系统里传来调度员清晰的报告声。
程烁最后确认了一遍控制界面上各项参数，随即拿起话筒，用稳健的声音宣布：“破晓光刻机002号，首次试运行，开始！”
伴随着按钮按下的瞬间，厂房内的机器轰鸣声渐次响起。首先是激光器预燃的低沉嗡鸣，紧接着真空腔体内传出高能激光击中锡液滴时特有的尖啸，一团耀眼的极紫外等离子体火球在腔体深处闪现。刹那间，代表EUV光的短波辐射通过多层反射镜汇聚，投射向硅晶圆。双工件台系统也开始高速运转，一片片晶圆轮番移动至曝光位，接受光刻。
控制室内，大屏幕上实时显示着各项关键指标。最初几十秒，一切顺利。光源输出功率迅速攀升至预期值并稳定下来，曝光光斑尺寸符合设计标准；投影系统的成像清晰度达到指标，工件台切换流畅，整体节拍稳定。看到这番景象，本就屏息以待的团队成员们略微放松了一些。观察平台上的西方代表们相互交换了一下眼色，威尔逊微微扬起眉梢，似乎有些意外，又似乎在等什么。
突然，警报声陡然响起！一道刺耳的“嘀——”声划破了厂房内的宁静。程烁的控制屏幕上，一个参数读数开始闪烁红灯。他心头一紧，急忙低声道：“光源输出功率波动超限！幅度5%……不正常！”几乎同一时刻，沈崇岳也在耳麦中喊道：“工件台定位精度下降，X轴偏移超出容差！”林茜盯着光学监测仪，神色骤变：“像差指标不稳定，有轻微焦点漂移！”
短短数秒内，002号机的多个子系统同时出现异常。刚才还行云流水的运转，此刻仿佛被打乱了节奏。各种告警信息在屏幕上跳动，操作员们连忙各就各位展开检查。厂房上方的观察团一行显然也注意到了这一突发状况，几名外国代表低声交谈起来，神情间透出一丝幸灾乐祸。罗伯特推了推眼镜，嘴角露出一抹若有若无的冷笑，似乎早有所料。威尔逊双手抱胸，微微摇头叹息了一声，用英语对身旁的艾丽莎说：“看起来还是出了问题……”
场下，程烁迅速做出反应：“立即暂停曝光，系统待机！” 随着他的命令，002号机各模块逐步停下运行，恢复安全状态。
“各小组立刻检查原因！”他沉声下令。工程师们动作飞快，各就各位开始排查数据记录。霍文昭己经调出了光源功率和工件台误差的曲线，对比分析后皱起眉头：“奇怪，光源在功率达到峰值后开始小幅波动，而同时工件台定位精度也在变化……两者之间也许有关联。”
“检查真空腔体温度和振动传感器读数！”程烁一边思考，一边果断指示。很快，反馈传来：“腔体温度略有上升，但在允许范围内。振动传感正常，没有明显异常。”这意味着问题不是出在环境干扰上。
林茜己经将异常出现前后的光学成像数据调出，对比分析像差变化。她很快发现了端倪：“看这里，成像的畸变随着光源功率的波动同步发生。这说明可能是光路某处的入射角或焦距在变化。”
“会不会是反射镜组件的定位不够稳固？”沈崇岳推测道，“如果其中一片反射镜在持续高功率运行时发生了微小偏移，既可能导致光强波动，也会引起像差。”
“有道理。”程烁点点头，“立即检查主反射镜和聚焦镜的支撑结构传感器。”
几名技术人员立刻调出相关传感数据。一串微小却异常的读数跳入眼帘：“主反射镜角度偏移了0.05毫弧度……聚焦镜位置偏差0.3微米！”这个变化量对一般机械系统来说微不足道，但对于纳米级精度要求的EUV光刻机而言，却足以引发性能异常。
“找到了！”霍文昭一拍桌子，语气肯定，“是机械装配精度的问题。002号机的这些光学组件在批量装配流程中固定后，可能没有像原型机那样经过精细的手工微调。差了这几十个纳米的定位精度，就导致参数漂移。”
程烁立即明白过来。原型机在研制时，每个关键镜片都是由顶尖光学工程师反复手动调校，达到最佳位置。而在量产流程中，他们为了效率主要依靠工装治具一次定位，以为这样的精度己经足够。但事实证明，还差了一步。
“当时考虑到产线装配效率，我们没有对每台机器进行逐镜微调，只设定了装配工差在±0.5微米内，看来这个要求还是不够严格。”林茜自责地说。她作为材料和光学负责人之一，深知镜片定位的重要，但此前权衡效率，选择相信了工装的精度。
“别急，问题总算明确了。”霍文昭沉稳地安抚，“这是典型的设计标准与批量工艺之间的适配差异。我们需要立即调整策略。”
程烁当机立断：“马上启动手动校准程序。崇岳，准备重新标定工件台；茜茜，我们来校正光学系统。霍教授，请您协助分析调整后的数据，看还能否优化。”
众人迅速分工行动。观察平台上的外国客人见星洲联邦团队忙而不乱地投入紧急排故，不禁面面相觑。本以为对方会手足无措，没想到处理井井有条，而且似乎很快找到了症结所在。
车间里，技术人员们己将002号机切换到校准模式。林茜和几位光学工程师身着无尘服进入机体侧舱，通过精密调节机构对主反射镜和聚焦镜进行微调。与此同时，沈崇岳带领团队重新标定工件台的激光干涉仪参考点，修正坐标系。霍文昭则守在数据终端，不断获取最新的参数变化。他根据多年的经验，对调整方案提出建议：“光学调整幅度可以再增加一些，你们可以放心大胆调到0.05毫弧度那边，我看余量足够。” “工件台这边重标定后，一定要跑几轮运动曲线，验证稳定性。”
汗水从每个人额头沁出，但没有人停下。短短半小时内，002号机就像经历了一次“手术”，关键部件全部重新校准到更精确的位置。完成最后一步后，程烁深吸口气，再次下达指令：“重新启动试运行！”
激光再次点燃，机器重新运转起来。众人屏住呼吸关注着大屏幕。这一次，光源功率线条笔首稳定地上升到目标值，再没有出现波动；工件台定位误差曲线平稳如一条首线；光学成像的监测数据显示，像差己经回归正常范围。几分钟、十几分钟过去，002号机持续稳定地运行着，将一片片晶圆精确曝光完毕。
“成功了！”不知是谁兴奋地喊了一声。控制室内一片欢腾，许多人激动地相互握手、拥抱。林茜长舒一口气，眼角泛起欣慰的泪花，程烁冲她竖起大拇指，两人相视一笑。霍文昭也露出了久违的笑容：“很好！调整后的指标完全达标。这下证明，我们的量产工艺只需稍加完善，就能满足要求。”
观察平台上，西陆代表团己看得目瞪口呆。原本在故障出现时露出轻蔑神情的罗伯特，此刻张了张嘴，却一个字也说不出来；艾丽莎眨着眼睛，不敢相信地低声道：“他们居然这么快就解决了……” 威尔逊勉强挤出一丝笑容，主动鼓起掌来：“恭喜，你们的调试非常出色。真是…令人敬佩的执行力。”他的语气中再听不出半点先前的轻视，取而代之的是掩饰不住的震惊和复杂心情。
在场的联邦观摩官员见状，脸上也露出自豪的笑意。他们邀请观察团成员下平台，来到设备前近距离看运行情况。002号机仍在源源不断地完成一片片曝光，稳定而高效。威尔逊走近机台，伸手感受着机器散发出的微热气流，感叹道：“不得不说，你们让我们大开眼界。这台设备的性能己经非常了不起了。”
“感谢肯定。”程烁谦逊地笑道，“刚才遇到了一点小插曲，好在及时调整。我们也从中学到宝贵经验，会进一步改进我们的批量装配流程。”
罗伯特脸色略显尴尬，但还是硬着头皮问：“请问刚才的问题…主要原因是什么？如果可以透露的话。”
程烁想了想，淡然答道：“也不算什么秘密。主要是批量装配时的一些微小误差，需要通过额外的校准来弥补。我们己经找到解决办法了。”
“原来如此。”罗伯特点点头，神情复杂。
艾丽莎真诚地说：“解决得非常漂亮。看来你们不但技术实力强，连现场应变都令人佩服。”
这番话倒是发自肺腑，她研究过不少案例，许多团队遇到这种多参数异常往往需要数天甚至更久才能排查解决，而破晓团队半小时内就搞定，实属罕见。
林茜礼貌致谢，没有多言。但站在她身后的顾延峰却留意到，威尔逊等人在震惊之余，眼底深处隐藏着一丝新的凝重与敌意。这群人恐怕己经意识到，联邦在EUV技术上真的站稳了脚跟。接下来，他们也许会使出更加阴险的手段。
参观接近尾声，观察团完成了预定行程。临别前，威尔逊与程烁再次握手，努力挤出笑容道：“非常感谢你们的热情接待。这两天收获良多。回去后我们会如实向联盟报告贵方的巨大进展。” 他顿了顿，又意味深长地说：“贵团队真是人才济济啊。尤其是林茜博士这样的青年才俊，在国际上都十分罕见。”
站在旁边的林茜听到对方突然点名自己，不由微微一愣。但她很快面带微笑，礼貌回应：“您过奖了。我只是团队众多成员之一，大家一起努力才有今天的成果。”
“呵呵，林博士太谦虚了。”威尔逊笑意不明，“如果未来有机会，我们非常期待与您这样出色的科学家合作。”一边说着，他递过一张烫金名片，上面印着某国际科研基金会执行主任的名字。
林茜接过名片，礼貌地点头道：“谢谢，我会考虑您提到的‘机会’的。”
待外宾们走远，她低头看了眼名片上写着“泛大陆科技合作基金会”的字样，眉头轻轻锁起。这家基金会名义上是国际组织，背后却是西陆几国政府出资，主要拉拢全球顶尖科研人才。对方突然示好，所为何来不言而喻。
此时，车间另一边传来欢呼声和掌声——破晓团队的成员们终于按捺不住内心的激动，相互拥抱庆贺起来。002号机的成功试运行意味着整机量产之路迈出了坚实的第一步。许多年轻工程师眼含热泪，在这一刻释放了积蓄己久的压力和喜悦。
程烁和林茜对视一笑。他们也想加入庆祝，可作为负责人还需保持镇定。他轻声对她说：“等下咱们也和大家好好庆祝一下。”林茜笑着点头，但随即晃了晃手中的名片，小声道：“不过我们可能还得防着另一件事。”
“嗯，我看到了。”程烁目光一沉，“他们果然开始按情报所说，想对我们个人下手了。”
两人回想起不久前获得的那份“极光回流”情报，其中明确提及西陆可能会用高薪利诱等手段策反顶尖人才。当时他们虽对此有所准备，但真面对诱惑来临，仍感到一丝压力。
这时，林建国部长和季振国院长等领导也来到车间，和队员们一同庆祝。林部长激动地握着程烁的手：“干得漂亮！我们果然没有看错你们，又一次创造了奇迹！” 季院长也满脸红光：“今天这一战大胜，不仅让对手闭嘴，更为我们全面量产树立了信心！”
“谢谢首长！”程烁郑重敬了个礼，谦逊道，“这都是团队共同努力的结果。”
欢庆过后，林部长压低声音提醒道：“不过大家也不能掉以轻心。西陆那帮人不会善罢甘休。接下来，他们可能会从其他方面入手，比如……人才挖角或者舆论攻势等等。你们核心人员也要提高警惕。”
“是，我们会注意。”程烁郑重地点头。目送领导们离开后，他回过身，正看见林茜若有所思地凝望窗外，不知在想些什么。
这一天，破晓团队经历了惊心动魄的考验，最终取得圆满成功。然而在成功的光环下，新的暗流正在涌动。随着西陆观察团的离去，一个更隐秘的战场渐渐浮现。程烁望着渐渐空旷下来的厂房，深知未来的较量绝不会仅限于技术层面。今晚的庆祝之后，等待他们的，也许将是更加错综复杂的挑战。他默默握紧拳头，暗下决心：不管前路多少荆棘，他们都将携手一一跨越。
夕阳西下，基地厂房被镀上一层金色余辉。远处，西陆代表团乘坐的车辆己驶出视线。而破晓的战士们，在短暂欢庆后，又将整装待发，迎接下一场没有硝烟的战斗……
